| title: | SPM-tomograaf |
|---|---|
| reg no: | ESTAG22 |
| project type: | ESTAG grant for feasibility study |
| subject: |
2.2. Materials Science |
| status: | completed |
| institution: | Institute of Physics at University of Tartu |
| head of project: | Ants Lõhmus |
| duration: | 17.06.2002 - 31.08.2002 |
| description: | Projekti eesmärgiks on ruumilise teravikmikroskoobi prototüübi loomine ja selle kasutamismetoodika väljatöötamisega seotud rakendusuuringute läbiviimine, et saavutada elektroonikatööstuses, aparaadi- ja masinaehituses ning teaduslikus uurimistöös vajalike objektide pindmiste kihtide ülitäpset ruumilist (3D) kujutist. |
| project group | ||||
|---|---|---|---|---|
| no | name | institution | position | |
| 1. | Ants Lõhmus | Institute of Physics at University of Tartu | ||